এসআইসি স্ফটিক বৃদ্ধির চুল্লিগুলির প্রযুক্তিগত অসুবিধাগুলি কী কী

স্ফটিক বৃদ্ধির চুল্লি সিলিকন কার্বাইড স্ফটিকগুলির বৃদ্ধির মূল সরঞ্জাম। এটি traditional তিহ্যবাহী স্ফটিক সিলিকন-গ্রেডের স্ফটিক বৃদ্ধির চুল্লির মতো। চুল্লি কাঠামো খুব জটিল নয়। এটি মূলত চুল্লি বডি, হিটিং সিস্টেম, কয়েল সংক্রমণ প্রক্রিয়া, ভ্যাকুয়াম অধিগ্রহণ এবং পরিমাপ ব্যবস্থা, গ্যাস পাথ সিস্টেম, কুলিং সিস্টেম, নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা ইত্যাদি নিয়ে গঠিত, তাপ ক্ষেত্র এবং প্রক্রিয়া শর্তগুলি সিক স্ফটিকের গুণমান, আকার এবং পরিবাহিতা হিসাবে মূল সূচকগুলি নির্ধারণ করে।

একদিকে, সিলিকন কার্বাইড স্ফটিকগুলির বৃদ্ধির সময় তাপমাত্রা খুব বেশি এবং পর্যবেক্ষণ করা যায় না, তাই মূল অসুবিধাটি প্রক্রিয়াটিতেই থাকে। প্রধান সমস্যাগুলি নিম্নরূপ:

(1) তাপ ক্ষেত্র নিয়ন্ত্রণে অসুবিধা: বদ্ধ উচ্চ-তাপমাত্রার চেম্বারের পর্যবেক্ষণ কঠিন এবং অনিয়ন্ত্রিত। Unlike traditional silicon-based solution-based direct-pull crystal growth equipment, which has a high degree of automation and the crystal growth process can be observed, controlled and adjusted, silicon carbide crystals grow in a closed space in a high-temperature environment above 2,000°C, and the growth temperature needs to be precisely controlled during production, which makes temperature control difficult;

(২) স্ফটিক ফর্ম নিয়ন্ত্রণে অসুবিধা: মাইক্রোপিপস, পলিমারফিক অন্তর্ভুক্তি এবং স্থানচ্যুতিগুলির মতো ত্রুটিগুলি বৃদ্ধির প্রক্রিয়া চলাকালীন ঘটে থাকে এবং এগুলি একে অপরের সাথে প্রভাবিত করে এবং বিকশিত হয়। মাইক্রোপাইপস (এমপিএস) হ'ল কয়েকটি মাইক্রন থেকে শুরু করে কয়েক দশক মাইক্রন আকারে ধরণের ত্রুটিগুলি এবং ডিভাইসগুলির জন্য ঘাতক ত্রুটি। সিলিকন কার্বাইড একক স্ফটিকগুলিতে 200 টিরও বেশি বিভিন্ন স্ফটিক ফর্ম অন্তর্ভুক্ত রয়েছে তবে কেবলমাত্র কয়েকটি স্ফটিক কাঠামো (4 এইচ প্রকার) হ'ল উত্পাদনের জন্য প্রয়োজনীয় অর্ধপরিবাহী উপকরণ। স্ফটিক ফর্ম রূপান্তর বৃদ্ধির সময় ঘটে থাকে, যার ফলে পলিমারফিক অন্তর্ভুক্তি ত্রুটি হয়। অতএব, সিলিকন-কার্বন অনুপাত, বৃদ্ধির তাপমাত্রার গ্রেডিয়েন্ট, স্ফটিক বৃদ্ধির হার এবং বায়ু প্রবাহের চাপের মতো প্যারামিটারগুলি সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণ করা প্রয়োজন। তদতিরিক্ত, সিলিকন কার্বাইড একক স্ফটিক বৃদ্ধির তাপীয় ক্ষেত্রে একটি তাপমাত্রার গ্রেডিয়েন্ট রয়েছে, যা দেশীয় অভ্যন্তরীণ চাপ এবং ফলস্বরূপ স্থানচ্যুতি (বেসাল প্লেন ডিসলোকেশন বিপিডি, স্ক্রু স্থানচ্যুতি টিএসডি, প্রান্ত স্থানচ্যুতি টিইডি) বাড়ে, যার ফলে পরবর্তী সময়ে এপিটাক্সি এবং ডিভাইসগুলির গুণমান এবং কর্মক্ষমতা প্রভাবিত করে।

(3) ডোপিং নিয়ন্ত্রণে অসুবিধা: বাহ্যিক অমেধ্যগুলির প্রবর্তনকে দিকনির্দেশিতভাবে ডোপড কাঠামো সহ একটি পরিবাহী স্ফটিক পেতে কঠোরভাবে নিয়ন্ত্রণ করতে হবে।

(4) ধীর বৃদ্ধির হার: সিলিকন কার্বাইডের বৃদ্ধির হার খুব ধীর। প্রচলিত সিলিকন উপকরণগুলির স্ফটিক রডে পরিণত হতে কেবল 3 দিন প্রয়োজন, যখন সিলিকন কার্বাইড স্ফটিক রডগুলির জন্য 7 দিন প্রয়োজন। এটি প্রাকৃতিকভাবে কম সিলিকন কার্বাইড উত্পাদন দক্ষতা এবং খুব সীমিত আউটপুট বাড়ে।

অন্যদিকে, সিলিকন কার্বাইড এপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধির জন্য প্রয়োজনীয় পরামিতিগুলি অত্যন্ত বেশি, সরঞ্জামগুলির বায়ুচালিততা, প্রতিক্রিয়া চেম্বারে গ্যাসের চাপের স্থায়িত্ব, গ্যাসের ভূমিকা সময়ের সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ, গ্যাস অনুপাতের যথার্থতা এবং জমা দেওয়ার তাপমাত্রার কঠোর পরিচালনা সহ অত্যন্ত উচ্চ। In particular, with the improvement of the device's voltage rating, the difficulty of controlling the core parameters of the epitaxial wafer has increased significantly. তদতিরিক্ত, এপিট্যাক্সিয়াল স্তরটির বেধ বাড়ার সাথে সাথে কীভাবে প্রতিরোধের অভিন্নতা নিয়ন্ত্রণ করতে হবে এবং ত্রুটি ঘনত্ব হ্রাস করতে হবে এবং ঘনত্বটি নিশ্চিত করার সময় বেধটি আরও একটি বড় চ্যালেঞ্জ হয়ে দাঁড়িয়েছে। বিদ্যুতায়িত নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থায়, বিভিন্ন পরামিতিগুলি সঠিকভাবে এবং স্থিরভাবে নিয়ন্ত্রিত হতে পারে তা নিশ্চিত করার জন্য উচ্চ-নির্ভুলতা সেন্সর এবং অ্যাকিউইউটরগুলিকে সংহত করা প্রয়োজন। একই সময়ে, নিয়ন্ত্রণ অ্যালগরিদমের অপ্টিমাইজেশনও অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। সিলিকন কার্বাইড এপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধি প্রক্রিয়ার বিভিন্ন পরিবর্তনের সাথে খাপ খাইয়ে নিতে প্রতিক্রিয়া সংকেত অনুসারে রিয়েল টাইমে নিয়ন্ত্রণ কৌশলটি সামঞ্জস্য করতে সক্ষম হওয়া দরকার।

সেমিকোরেক্স উচ্চ-বিশুদ্ধতা কাস্টমাইজড অফার করেসিরামিকএবংগ্রাফাইটএসআইসি স্ফটিক বৃদ্ধিতে উপাদান। আপনার যদি কোনও অনুসন্ধান থাকে বা অতিরিক্ত বিশদ প্রয়োজন হয় তবে দয়া করে আমাদের সাথে যোগাযোগ করতে দ্বিধা করবেন না।

যোগাযোগ ফোন # +86-13567891907

ইমেল: বিক্রয়@sememorex.com