সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ে প্রধান সিরামিক উপাদানগুলি

সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলি চেম্বার এবং চেম্বার নিয়ে গঠিত এবং বেশিরভাগ সিরামিকগুলি ওয়েফারগুলির কাছাকাছি চেম্বারে ব্যবহৃত হয়। সিরামিক অংশগুলি, মূল সরঞ্জামগুলির গহ্বরগুলিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত গুরুত্বপূর্ণ উপাদানগুলি হ'ল অ্যালুমিনা সিরামিক, অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড সিরামিকস এবং সিলিকন কার্বাইড সিরামিকের মতো উন্নত সিরামিক উপকরণ ব্যবহার করে যথার্থ প্রসেসিংয়ের মাধ্যমে উত্পাদিত অর্ধপরিবাহী সরঞ্জাম উপাদান। উন্নত সিরামিক উপকরণগুলির শক্তি, নির্ভুলতা, বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্য এবং জারা প্রতিরোধের দুর্দান্ত পারফরম্যান্স রয়েছে এবং ভ্যাকুয়াম এবং উচ্চ তাপমাত্রার মতো বিশেষ পরিবেশে অর্ধপরিবাহী উত্পাদনগুলির জটিল কর্মক্ষমতা প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে পারে। সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলির উন্নত সিরামিক উপাদান উপাদানগুলি মূলত চেম্বারে ব্যবহৃত হয় এবং তাদের মধ্যে কিছু ওয়েফারের সাথে সরাসরি যোগাযোগে থাকে। এগুলি ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট উত্পাদন ক্ষেত্রে মূল নির্ভুলতা উপাদান এবং পাঁচটি বিভাগে বিভক্ত করা যেতে পারে: এ্যানুলার সিলিন্ডার, এয়ারফ্লো গাইড, লোড-বিয়ারিং এবং স্থির ধরণের, গ্রিপার গ্যাসকেট এবং মডিউলগুলি। এই নিবন্ধটি মূলত প্রথম বিভাগ সম্পর্কে কথা বলে: অ্যানুলার সিলিন্ডার।

রিং এবং সিলিন্ডার

1। মাইরা রিং: মূলত পাতলা ফিল্ম জমা করার সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহৃত হয়। প্রক্রিয়া চেম্বারের মধ্যে অবস্থিত, তারা ওয়েফারের সাথে সরাসরি যোগাযোগে আসে, গ্যাস গাইডেন্স, নিরোধক এবং জারা প্রতিরোধের বর্ধন করে।

2। গার্ড রিং: মূলত পাতলা ফিল্ম ডিপোজিশন সরঞ্জাম এবং এচারে ব্যবহৃত হয়। প্রক্রিয়া চেম্বারের মধ্যে অবস্থিত, তারা ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক এবং সিরামিক হিটারের মতো কী মডিউল উপাদানগুলি রক্ষা করে।

3। এজ রিং: মূলত পাতলা ফিল্ম ডিপোজিশন সরঞ্জাম এবং এচারে ব্যবহৃত হয়। প্রক্রিয়া চেম্বারের মধ্যে অবস্থিত, তারা স্থিতিশীল হয় এবং প্লাজমা থেকে পালাতে বাধা দেয়।

4। ফোকাসিং রিংগুলি: মূলত পাতলা ফিল্ম ডিপোজিশন সরঞ্জাম, এচার এবং আয়ন ইমপ্লান্টেশন সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহৃত হয়। প্রক্রিয়া চেম্বারের মধ্যে অবস্থিত, তারা ওয়েফার থেকে 20 মিমি এর চেয়ে কম, চেম্বারের মধ্যে প্লাজমা ফোকাস করে।

5 ... প্রতিরক্ষামূলক কভার: মূলত পাতলা ফিল্ম ডিপোজিশন সরঞ্জাম এবং এচারে ব্যবহৃত হয়। প্রক্রিয়া চেম্বারের মধ্যে অবস্থিত, তারা প্রক্রিয়া অবশিষ্টাংশ সিল এবং শোষণ করে।

। চেম্বারের বাইরে অবস্থিত, তারা উপাদানগুলি সুরক্ষিত করে এবং সমর্থন করে।

7। লাইনার: প্রাথমিকভাবে প্রক্রিয়া চেম্বারের মধ্যে অবস্থিত এচারগুলিতে ব্যবহৃত হয়, এটি গ্যাসের নির্দেশিকা বাড়ায় এবং আরও অভিন্ন ফিল্ম গঠন নিশ্চিত করে।

৮। ইনসুলেশন সিলিন্ডার: প্রাথমিকভাবে পাতলা ফিল্ম ডিপোজিশন সরঞ্জাম, ইচার এবং আয়ন ইমপ্লান্টারে ব্যবহৃত হয়, এটি প্রক্রিয়া চেম্বারের মধ্যে অবস্থিত এবং সরঞ্জামের তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের কর্মক্ষমতা উন্নত করে।

9। থার্মোকল সুরক্ষা টিউব: প্রাথমিকভাবে বিভিন্ন সেমিকন্ডাক্টর ফ্রন্ট-এন্ড সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহৃত, এটি চেম্বারের বাইরে অবস্থিত এবং তুলনামূলকভাবে স্থিতিশীল তাপমাত্রা এবং রাসায়নিক পরিবেশে থার্মোকলগুলি রক্ষা করে।

সেমিকোরেক্স উচ্চমানের প্রস্তাব দেয়সিরামিক পণ্যঅর্ধপরিবাহী। আপনার যদি কোনও অনুসন্ধান থাকে বা অতিরিক্ত বিশদ প্রয়োজন হয় তবে দয়া করে আমাদের সাথে যোগাযোগ করতে দ্বিধা করবেন না।

যোগাযোগ ফোন # +86-13567891907

ইমেল: বিক্রয়@sememorex.com