সিরামিক হিটার

সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ের ফ্রন্ট-এন্ড প্রক্রিয়াতে (এফইওএল)ওয়েফারবিভিন্ন প্রক্রিয়া চিকিত্সার শিকার হওয়া দরকার, বিশেষত ওয়েফারকে একটি নির্দিষ্ট তাপমাত্রায় উত্তপ্ত করা দরকার এবং এর কঠোর প্রয়োজনীয়তা রয়েছে, কারণ তাপমাত্রার অভিন্নতা পণ্যের ফলনের উপর খুব গুরুত্বপূর্ণ প্রভাব ফেলে; একই সময়ে, অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলি ভ্যাকুয়াম, প্লাজমা এবং রাসায়নিক গ্যাসের উপস্থিতিতে কাজ করা দরকার, যার জন্য সিরামিক হিটার ব্যবহার প্রয়োজন।সিরামিক হিটারসেমিকন্ডাক্টর পাতলা ফিল্ম ডিপোজিশন সরঞ্জামগুলির গুরুত্বপূর্ণ উপাদান। এগুলি প্রক্রিয়া চেম্বারে ব্যবহৃত হয় এবং ওয়েফারকে একটি স্থিতিশীল এবং অভিন্ন প্রক্রিয়া তাপমাত্রা অর্জন করতে এবং পাতলা ছায়াছবি উত্পন্ন করতে ওয়েফারের পৃষ্ঠের উচ্চ নির্ভুলতার সাথে প্রতিক্রিয়া জানাতে সক্ষম করার জন্য সরাসরি ওয়েফারের সাথে যোগাযোগ করে।

যেহেতু সিরামিক হিটার দ্বারা ব্যবহৃত পাতলা ফিল্ম ডিপোজিশন সরঞ্জামগুলিতে উচ্চ তাপমাত্রা জড়িত, মূলত অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড (এএলএন) এর উপর ভিত্তি করে সিরামিক উপকরণগুলি সাধারণত ব্যবহৃত হয়। কারণ অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইডের বৈদ্যুতিক নিরোধক এবং দুর্দান্ত তাপ পরিবাহিতা রয়েছে; তদ্ব্যতীত, এর তাপীয় প্রসারণ সহগ সিলিকনের কাছাকাছি এবং এটিতে দুর্দান্ত প্লাজমা প্রতিরোধের দুর্দান্ত, এটি অর্ধপরিবাহী সরঞ্জাম উপাদান হিসাবে ব্যবহারের জন্য খুব উপযুক্ত।

ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাকস (ইএসসি) মূলত এচিং সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহৃত হয়, মূলত অ্যালুমিনিয়াম অক্সাইড (আল 2 ও 3)। যেহেতু ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক নিজেই একটি হিটারও ধারণ করে, একটি উদাহরণ হিসাবে শুকনো এচিং গ্রহণ করে, একটি নির্দিষ্ট এচিং বৈশিষ্ট্য বজায় রাখতে -70 ℃ ~ 100 ℃ এর পরিসীমা নির্দিষ্ট তাপমাত্রায় ওয়েফারকে নিয়ন্ত্রণ করা প্রয়োজন। অতএব, ওয়েফারের তাপমাত্রা সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণ করতে ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক দ্বারা উত্তপ্ত বা বিলুপ্ত হওয়া দরকার। তদতিরিক্ত, ওয়েফার পৃষ্ঠের অভিন্নতা নিশ্চিত করার জন্য, প্রক্রিয়া ফলন উন্নত করতে প্রতিটি তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ অঞ্চলের তাপমাত্রা পৃথকভাবে নিয়ন্ত্রণ করতে বৈদ্যুতিন চকচকে প্রায়শই তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ অঞ্চল বাড়াতে হবে। অবশ্যই, প্রযুক্তির বিকাশের সাথে সাথে, traditional তিহ্যবাহী সিরামিক হিটার এবং ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ছকের মধ্যে পার্থক্য অস্পষ্ট হয়ে উঠতে শুরু করেছে। কিছু সিরামিক হিটারে উচ্চ-তাপমাত্রা হিটিং এবং ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক শোষণের দ্বৈত ফাংশন রয়েছে।

সিরামিক হিটারে একটি সিরামিক বেস অন্তর্ভুক্ত যা ওয়েফার বহন করে এবং একটি নলাকার সমর্থন বডি যা এটি পিছনে সমর্থন করে। হিটিংয়ের জন্য প্রতিরোধের উপাদান (হিটিং লেয়ার) ছাড়াও সিরামিক বেসের অভ্যন্তরে বা পৃষ্ঠের উপরে, সেখানে একটি রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি ইলেক্ট্রোড (রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি স্তর )ও রয়েছে। দ্রুত গরম এবং শীতলকরণ অর্জনের জন্য, সিরামিক বেসের বেধটি পাতলা হওয়া উচিত তবে খুব পাতলাও অনড়তা হ্রাস করবে। হিটারের সাপোর্ট বডিটি সাধারণত বেসের মতো তাপীয় প্রসারণ সহগ সহ একটি উপাদান দিয়ে তৈরি হয়, তাই সমর্থন বডিটি প্রায়শই অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড দিয়েও তৈরি হয়। হিটারটি নীচে একটি শ্যাফ্ট (শ্যাফ্ট) জয়েন্টের একটি অনন্য কাঠামো গ্রহণ করে, যা টার্মিনাল এবং তারগুলি প্লাজমা এবং ক্ষয়কারী রাসায়নিক গ্যাসগুলির প্রভাব থেকে রক্ষা করতে পারে। হিটারের অভিন্ন তাপমাত্রা নিশ্চিত করার জন্য একটি তাপ পরিবাহিতা গ্যাস ইনলেট এবং আউটলেট পাইপ সমর্থন বডিটিতে সরবরাহ করা হয়। বেস এবং সাপোর্ট বডি রাসায়নিকভাবে একটি বন্ধন স্তরের সাথে বন্ধনযুক্ত।

সেমিকোরেক্স উচ্চমানের প্রস্তাব দেয়সিরামিক হিটার। আপনার যদি কোনও অনুসন্ধান থাকে বা অতিরিক্ত বিশদ প্রয়োজন হয় তবে দয়া করে আমাদের সাথে যোগাযোগ করতে দ্বিধা করবেন না।

যোগাযোগ ফোন # +86-13567891907

ইমেল: বিক্রয়@sememorex.com