এচিং প্রসেস প্যারামিটার

এচিংসিলিকন ওয়েফারে মিনিট সার্কিট স্ট্রাকচার তৈরি করতে ব্যবহৃত চিপ উৎপাদনের একটি গুরুত্বপূর্ণ পদক্ষেপ। এটি নির্দিষ্ট নকশা প্রয়োজনীয়তা মেটাতে রাসায়নিক বা শারীরিক উপায়ে উপাদান স্তর অপসারণ জড়িত। এই নিবন্ধটি অসম্পূর্ণ এচিং, ওভার-এচিং, এচ রেট, আন্ডারকাটিং, সিলেক্টিভিটি, ইউনিফর্মিটি, অ্যাসপেক্ট রেশিও, এবং আইসোট্রপিক/অ্যানিসোট্রপিক এচিং সহ বেশ কিছু মূল এচিং পরামিতি প্রবর্তন করবে।

অসম্পূর্ণ কিএচিং?

অসম্পূর্ণ এচিং ঘটে যখন এনচিং প্রক্রিয়ার সময় নির্দিষ্ট এলাকার উপাদান সম্পূর্ণরূপে অপসারণ করা হয় না, অবশিষ্ট স্তরগুলি প্যাটার্নযুক্ত গর্তে বা পৃষ্ঠের উপর রেখে যায়। এই পরিস্থিতিটি বিভিন্ন কারণ থেকে দেখা দিতে পারে, যেমন অপর্যাপ্ত এচিং সময় বা অসম ফিল্ম বেধ।

ওভার-এচিং

সমস্ত প্রয়োজনীয় উপাদান সম্পূর্ণ অপসারণ নিশ্চিত করতে এবং পৃষ্ঠ স্তরের বেধের তারতম্যের জন্য অ্যাকাউন্টের জন্য, একটি নির্দিষ্ট পরিমাণ ওভার-এচিং সাধারণত নকশায় অন্তর্ভুক্ত করা হয়। এর মানে হল প্রকৃত এচিং গভীরতা লক্ষ্য মানকে ছাড়িয়ে গেছে। পরবর্তী প্রক্রিয়া সফলভাবে সম্পাদনের জন্য উপযুক্ত ওভার-এচিং অপরিহার্য।

ইচহার

এচ রেট প্রতি ইউনিট সময় সরানো উপাদানের পুরুত্ব বোঝায় এবং এচিং দক্ষতার একটি গুরুত্বপূর্ণ সূচক। একটি সাধারণ ঘটনা হল লোডিং প্রভাব, যেখানে অপর্যাপ্ত প্রতিক্রিয়াশীল প্লাজমা এচ রেট হ্রাস বা অসম এচ বিতরণের দিকে পরিচালিত করে। এটি চাপ এবং শক্তির মতো প্রক্রিয়ার অবস্থার সামঞ্জস্য করে উন্নত করা যেতে পারে।

আন্ডারকাটিং

আন্ডারকাটিং ঘটে যখনএচিংশুধুমাত্র লক্ষ্যবস্তুর ক্ষেত্রেই ঘটে না বরং ফোটোরেসিস্টের প্রান্ত বরাবর নিচের দিকে প্রসারিত হয়। এই ঘটনাটি আনত পার্শ্বওয়াল সৃষ্টি করতে পারে, যা ডিভাইসের মাত্রিক নির্ভুলতাকে প্রভাবিত করে। গ্যাসের প্রবাহ এবং এচিং সময় নিয়ন্ত্রণ করা আন্ডারকাটিং এর ঘটনা কমাতে সাহায্য করে।

সিলেক্টিভিটি

সিলেক্টিভিটি হল এর অনুপাতএচএকই অবস্থার অধীনে দুটি ভিন্ন উপকরণের মধ্যে হার। একটি উচ্চ নির্বাচনীতা কোন অংশে খোদাই করা হয় এবং কোনটি ধরে রাখা হয় তার উপর আরও সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ সক্ষম করে, যা জটিল বহুস্তর কাঠামো তৈরির জন্য অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ।

অভিন্নতা

অভিন্নতা একটি সম্পূর্ণ ওয়েফার জুড়ে বা ব্যাচগুলির মধ্যে এচিং প্রভাবগুলির ধারাবাহিকতা পরিমাপ করে। ভাল অভিন্নতা নিশ্চিত করে যে প্রতিটি চিপের একই বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্য রয়েছে।

আকৃতির অনুপাত

আকৃতির অনুপাতকে বৈশিষ্ট্যের উচ্চতা থেকে প্রস্থের অনুপাত হিসাবে সংজ্ঞায়িত করা হয়। প্রযুক্তির বিকাশের সাথে সাথে ডিভাইসগুলিকে আরও কমপ্যাক্ট এবং দক্ষ করে তোলার জন্য উচ্চ আকৃতির অনুপাতের চাহিদা বাড়ছে। যাইহোক, এই জন্য চ্যালেঞ্জ উপস্থাপনএচিং, কারণ এটি নীচের অংশে অত্যধিক ক্ষয় এড়াতে উল্লম্বতা বজায় রাখা প্রয়োজন।

কীভাবে আইসোট্রপিক এবং অ্যানিসোট্রপিক করবেনএচিংভিন্ন?

আইসোট্রপিকএচিংসব দিক থেকে অভিন্নভাবে ঘটে এবং নির্দিষ্ট নির্দিষ্ট অ্যাপ্লিকেশনের জন্য উপযুক্ত। বিপরীতে, অ্যানিসোট্রপিক এচিং প্রাথমিকভাবে উল্লম্ব দিকে অগ্রসর হয়, এটি সুনির্দিষ্ট ত্রিমাত্রিক কাঠামো তৈরির জন্য আদর্শ করে তোলে। আধুনিক ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট উত্পাদন প্রায়শই উন্নত আকৃতি নিয়ন্ত্রণের জন্য পরবর্তীটিকে সমর্থন করে।

সেমিকোরেক্স সেমিকন্ডাক্টরের জন্য উচ্চ-মানের SiC/TaC সমাধান অফার করেআইসিপি/পিএসএস এচিং এবং প্লাজমা এচিংপ্রক্রিয়া. আপনার যদি কোন জিজ্ঞাসা থাকে বা অতিরিক্ত বিবরণ প্রয়োজন, আমাদের সাথে যোগাযোগ করতে দ্বিধা করবেন না দয়া করে.

যোগাযোগের ফোন # +86-13567891907

ইমেইল: sales@semicorex.com