অনুভূমিক কোয়ার্টজ ওয়েফার বোট

অনুভূমিক কোয়ার্টজ ওয়েফার নৌকাসাধারণত অর্ধপরিবাহী ওয়েফারগুলিকে তাপ চিকিত্সা সরঞ্জামের ফার্নেস টিউবের মধ্যে অনুভূমিকভাবে ধরে রাখে, যা বহিরাগত গরম করার যন্ত্র দ্বারা উত্তপ্ত হয়। এগুলি উচ্চ-তাপমাত্রার ক্ষয়কারী অর্ধপরিবাহী তাপ চিকিত্সা প্রক্রিয়াগুলির দাবিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়, যেমন তাপ অক্সিডেশন, উচ্চ-তাপমাত্রার প্রসারণ, অ্যানিলিং এবং রাসায়নিক বাষ্প জমা (সিভিডি) প্রক্রিয়া।

সেমিকোরেক্স অনুভূমিক কোয়ার্টজ ওয়েফার বোটগুলির কার্যকারিতা

1. স্থিতিশীল হোল্ডিং এবং সুরক্ষিত

সেমিকোরেক্স অনুভূমিক কোয়ার্টজ ওয়েফার বোটগুলির চমৎকার লোড-ভারবহন ক্ষমতা রয়েছে এবং ক্রমাগত একাধিক সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারের জন্য স্থিতিশীল সমর্থন দিতে পারে। এবং তাদের অপ্টিমাইজ করা বাহ্যিক নকশা এবং সুনির্দিষ্টভাবে স্লট গঠন প্রতিটি নিশ্চিত করেওয়েফারঅনুভূমিক কোয়ার্টজ ওয়েফার বোটগুলিতে পুরোপুরি লাগানো এবং দৃঢ়ভাবে সুরক্ষিত, যা পরিবহন এবং উত্পাদন প্রক্রিয়ার সময় কাঁপানো, স্থানচ্যুতি এবং কাত হওয়ার কারণে ওয়েফারের স্ক্র্যাচ এবং সংঘর্ষগুলি উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস করে।

2. প্রক্রিয়া অভিন্নতা সহায়তা

অনুভূমিক কোয়ার্টজ ওয়েফার বোটগুলির সমান ব্যবধানের স্লট কাঠামো সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারগুলির সুশৃঙ্খলভাবে বসানোর অনুমতি দেয়, এইভাবে উচ্চ-তাপমাত্রার চুল্লিগুলিতে একটি স্থিতিশীল এবং মসৃণ গ্যাস প্রবাহ ক্ষেত্র তৈরি করে। স্ট্রাকচারাল ডিজাইন প্রতিটি ওয়েফার পৃষ্ঠে সামঞ্জস্যপূর্ণ গ্যাস যোগাযোগ এবং প্রতিক্রিয়া হার অর্জন করে, যার ফলে অসম গরম এবং ডিফারেনশিয়াল গ্যাস যোগাযোগের কারণে সৃষ্ট বিভিন্ন ত্রুটি যেমন অসম্পূর্ণ ওয়েফার অক্সিডেশন, অসম পাতলা-ফিল্ম জমা এবং ডোপিং ঘনত্ব বিচ্যুতি কার্যকরভাবে হ্রাস করে।

3. দীর্ঘস্থায়ী সেবা জীবন

কোয়ার্টজ উপাদানের উচ্চতর উচ্চ-তাপমাত্রার প্রতিরোধের জন্য ধন্যবাদ, সেমিকোরেক্স অনুভূমিক কোয়ার্টজ ওয়েফার বোটগুলি বিকৃতি বা গলে না গিয়ে দীর্ঘ সময়ের জন্য 1100-1200℃ উচ্চ তাপমাত্রা সহ্য করতে পারে।কোয়ার্টজঅক্সিজেন, নাইট্রোজেন, এবং হাইড্রোজেন ক্লোরাইডের মতো অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াগুলিতে সাধারণত ব্যবহৃত গ্যাসগুলিতে রাসায়নিকভাবে নিষ্ক্রিয়। এই ব্যতিক্রমী রাসায়নিক নিষ্ক্রিয়তা প্রক্রিয়া গ্যাস থেকে ক্ষয় হওয়ার ঝুঁকি কমাতে পারে, পরিষেবা জীবনকে ব্যাপকভাবে প্রসারিত করতে পারে এবং সরঞ্জাম প্রতিস্থাপনের সময় এবং খরচ কমাতে পারে।