গ্লাস কার্বন লেপ অনুভূত

সেমিকোরেক্স গ্লাসযুক্ত কার্বন লেপ সিলিকন কার্বাইড এপিট্যাক্সিয়াল চুল্লিগুলিতে একটি অভ্যন্তরীণ নিরোধক স্তর হিসাবে কাজ করে। এটি উন্নত তাপীয় পরিবেশের জন্য ডিজাইন করা একটি উচ্চ-পারফরম্যান্স নিরোধক উপাদান। এই পণ্যটি তার হালকা ওজনের এবং দুর্দান্ত তাপ নিরোধক বৈশিষ্ট্যের কারণে উচ্চতর সমাধানগুলি সরবরাহ করে সাধারণ অর্ধপরিবাহী উচ্চ-তাপমাত্রা উত্পাদন চ্যালেঞ্জগুলি কাটিয়ে উঠেছেগ্রাফাইট অনুভূত, পৃষ্ঠের অখণ্ডতা এবং রাসায়নিক জড়তার সাথে গ্লাসযুক্ত কার্বন লেপ দ্বারা প্রদত্ত।

বেস উপাদান একটি উচ্চ বিশুদ্ধতাগ্রাফাইট অনুভূতএর নিম্ন তাপীয় পরিবাহিতা উচ্চ তাপমাত্রার স্থায়িত্ব এবং হালকা ওজনের জন্য বেছে নিন। সাধারণ গ্রাফাইট অনুভূত সাধারণত উচ্চতর তাপমাত্রায় পৃষ্ঠের ফাইবার শেডিং এবং কণা উত্পাদন থাকে যা সংবেদনশীল এপিট্যাক্সিয়াল সিস্টেমগুলিতে প্রক্রিয়া পরিবেশকে দূষিত করতে পারে। এই সমস্যাটি প্রশমিত করার জন্য, গ্রাফাইট অনুভূতির পৃষ্ঠটি গ্লাসযুক্ত কার্বনের একটি স্তর দিয়ে সমানভাবে আবৃত-এটি রাসায়নিক জড়তা, কম গ্যাসের ব্যাপ্তিযোগ্যতা এবং ব্যতিক্রমী তাপীয় স্থিতিশীলতার জন্য পরিচিত কার্বনের একটি ঘন, অ-ছিদ্রযুক্ত রূপ।

গ্লাস কার্বন একটি গ্রাফিটাইজড কার্বন যা কাচ এবং সিরামিকের বৈশিষ্ট্যগুলিকে একত্রিত করে। স্ফটিক গ্রাফাইটের বিপরীতে, এটি একটি নিরাকার, প্রায় 100% এসপি 2 হাইব্রিডাইজড কার্বন উপাদান, যা একটি জড় গ্যাস পরিবেশে ফেনলিক রজন, ফুরফুরিল অ্যালকোহল রজন ইত্যাদি পলিমারাইজড জৈব পূর্ববর্তীগুলির উচ্চ-তাপমাত্রার সিনটারিং দ্বারা গঠিত হয়। যেহেতু এটি পুরো কালো এবং কাচের মতো একটি মসৃণ পৃষ্ঠ রয়েছে তাই একে গ্লাস কার্বন বলা হয়।

গ্লাসযুক্ত কার্বন লেপ চুল্লি কণার প্রজন্মকে দূর করতে পারে, সিলযুক্ত পৃষ্ঠের ছিদ্র সরবরাহ করতে পারে, দুর্দান্ত ডেমোল্ডিং বৈশিষ্ট্য থাকতে পারে এবং ব্যাপ্তিযোগ্যতা হ্রাস করতে পারে, এই উপাদানটিকে অর্ধপরিবাহী শিল্পে অবিচ্ছিন্ন ing ালাই ছাঁচ এবং পণ্যগুলির জন্য খুব উপযুক্ত করে তোলে। এই উপাদানটিতে অর্ধপরিবাহী শিল্পে বিস্তৃত অ্যাপ্লিকেশন রয়েছে, বিশেষত গ্রাফাইট অংশগুলিতে যেমন একক স্ফটিক সিলিকন টানুন সরঞ্জামের উপাদানগুলি, এপিট্যাক্সিয়াল গ্রোথ উপাদানগুলি, অবিচ্ছিন্ন ing ালাই ছাঁচ, কাচ সিলিং জিগস ইত্যাদি ইত্যাদি।

জড় গ্যাস বা ভ্যাকুয়ামে গ্লাসযুক্ত কার্বনের উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের 3000 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেড পর্যন্ত থাকে এবং অন্যান্য সমস্ত সিরামিক এবং ধাতব উচ্চ তাপমাত্রার উপকরণগুলির বিপরীতে, গ্লাসযুক্ত কার্বনের শক্তি 2700 কে পর্যন্ত ক্রমবর্ধমান তাপমাত্রার সাথে বৃদ্ধি পায় এবং এটি ভঙ্গুর হয়ে যায় না এবং এটি অত্যন্ত উচ্চ তাপীয় শক প্রতিরোধের হয় না, তাই স্বল্প উত্তাপ এবং শীতল সময়গুলি কোনও সমস্যা নয়। এছাড়াও, গ্লাসযুক্ত কার্বনে কম ভর, কম তাপ শোষণ এবং কম তাপীয় প্রসারণ রয়েছে, সুতরাং এটি প্রায় সমস্ত উচ্চ তাপমাত্রার অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য উপযুক্ত।

গ্লাসযুক্ত কার্বন লেপ গ্রাফাইটের পৃষ্ঠের ছিদ্রগুলি সিলিংয়ে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে, অপারেশন চলাকালীন কণা এবং কার্বন ধুলার মুক্তি উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস করে। এটি বিশেষত সিক এপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধি প্রক্রিয়াগুলিতে সমালোচিত, যেখানে এমনকি ন্যূনতম দূষণও ওয়েফার গুণমান এবং ডিভাইসের পারফরম্যান্সের সাথে আপস করতে পারে। একটি মসৃণ, শক্ত কাঁচের কার্বন শেল দিয়ে অনুভূতির ছিদ্রযুক্ত কাঠামোকে আবদ্ধ করে, আবরণটি প্রতিক্রিয়া চেম্বারের মধ্যে একটি পরিষ্কার এবং স্থিতিশীল তাপ পরিবেশ নিশ্চিত করে।

গ্লাসযুক্ত কার্বন লেপ অনুভূত এর মূল সুবিধাগুলির মধ্যে রয়েছে:

হ্রাস কণা শেডিং: ঘন আবরণ কার্যকরভাবে আলগা তন্তু এবং কণাগুলিতে লক করে, ওয়েফার এবং চুল্লী উপাদানগুলির দূষণ রোধ করে।

উচ্চ তাপীয় স্থায়িত্ব: গ্রাফাইট অনুভূত এবং গ্লাসযুক্ত কার্বন উভয়ই জড় বা ভ্যাকুয়াম বায়ুমণ্ডলে 2000 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেডের বেশি তাপমাত্রা সহ্য করতে পারে, যা উচ্চ-তাপমাত্রার এসআইসি প্রক্রিয়াগুলির জন্য পণ্যটিকে আদর্শ করে তোলে।

রাসায়নিক জড়তা: কাঁচের কার্বন পৃষ্ঠটি বেশিরভাগ অ্যাসিড এবং ক্ষয়কারী গ্যাসগুলির বিরুদ্ধে প্রতিরোধী, কঠোর অবস্থার অধীনে নিরোধক স্তরটির অপারেশনাল জীবনকে প্রসারিত করে।

উন্নত প্রক্রিয়া ধারাবাহিকতা: ন্যূনতম কণা উত্পাদন আরও স্থিতিশীল এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্য এপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধির পরিবেশে অবদান রাখে, যা উচ্চ মানের এসআইসি ওয়েফার উত্পাদন করার জন্য প্রয়োজনীয়।

গ্লাসযুক্ত কার্বন লেপের অ্যাপ্লিকেশনগুলি মূলত এসআইসি এপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধির চুল্লিগুলিতে প্রসারিত অনুভূত হয়েছিল, যেখানে এটি হট জোনের মধ্যে তাপ নিরোধক স্তর হিসাবে ব্যবহৃত হয়। পণ্যটি সাধারণত উপরের বা নিম্ন নিরোধক স্ট্যাকগুলিতে একটি আস্তরণের উপাদান হিসাবে ইনস্টল করা হয়, যেখানে এটি তাপ সুরক্ষা এবং পরিষ্কার -পরিচ্ছন্নতা উভয়ই সরবরাহ করে।