ESC চক

সেমিকোরেক্স ইএসসি চক ওয়েফারের অবস্থানের উপর সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ বজায় রাখতে ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক শক্তি ব্যবহার করে, সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন পরিবেশে উচ্চ নির্ভুলতা এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা নিশ্চিত করে। ESC চাকের নকশা, এর শক্তিশালী উপাদান নির্বাচন এবং কাস্টমাইজযোগ্য মাত্রা সহ, এটিকে এচিং, ডিপোজিশন এবং আয়ন ইমপ্লান্টেশনের মতো প্রক্রিয়াগুলিতে একটি বহুমুখী এবং অপরিহার্য হাতিয়ার করে তোলে।

ESC চক চাকের ইলেক্ট্রোড এবং ওয়েফারের মধ্যে একটি উচ্চ-ভোল্টেজ ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ক্ষেত্র প্রয়োগ করে কাজ করে, একটি আকর্ষণীয় বল তৈরি করে যা ওয়েফারটিকে যথাস্থানে ধরে রাখে। ওয়েফার, সাধারণত সিলিকন বা সিলিকন কার্বাইড দিয়ে তৈরি, এই বল দ্বারা সুরক্ষিত হয়, যা উচ্চ-শূন্য পরিবেশে সুনির্দিষ্ট ক্রিয়াকলাপের অনুমতি দেয়। এই সিস্টেমটি যান্ত্রিক ক্ল্যাম্পিং বা ভ্যাকুয়াম চাকিংয়ের প্রয়োজনীয়তা দূর করে, যা দূষকগুলিকে প্রবর্তন করতে পারে বা ওয়েফারকে বিকৃত করতে পারে। একটি ESC চক ব্যবহার করে, নির্মাতারা সূক্ষ্ম বানোয়াট প্রক্রিয়াগুলির জন্য একটি পরিষ্কার, আরও স্থিতিশীল পরিবেশ অর্জন করতে পারে, যা উচ্চ ফলন এবং আরও সামঞ্জস্যপূর্ণ ফলাফলের দিকে পরিচালিত করে।

ESC প্রযুক্তির অন্যতম প্রধান সুবিধা হল ওয়েফারের উপর একটি দৃঢ় আঁকড়ে ধরে রাখার ক্ষমতা যখন এর পৃষ্ঠ জুড়ে সমানভাবে বল বিতরণ করা হয়। এটি নিশ্চিত করে যে ওয়েফারটি সমতল এবং স্থিতিশীল থাকে, যা অভিন্ন এচিং বা জমা করার জন্য অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ, বিশেষত এমন প্রক্রিয়াগুলিতে যেখানে সাবমাইক্রন নির্ভুলতা প্রয়োজন। ESC চাকের কাস্টমাইজযোগ্য মাত্রাগুলি এটিকে বিভিন্ন আকারের ওয়েফারগুলিকে মিটমাট করার অনুমতি দেয়, স্ট্যান্ডার্ড 200 মিমি এবং 300 মিমি ওয়েফার থেকে বিশেষায়িত, অ-মানক মাপের গবেষণা এবং বিকাশে বা কুলুঙ্গি সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসগুলির উত্পাদনে ব্যবহৃত হয়৷

ESC চক নির্মাণে ব্যবহৃত উপকরণগুলি সাধারণত অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াকরণে পাওয়া কঠোর পরিবেশের সাথে সামঞ্জস্য নিশ্চিত করার জন্য সাবধানে নির্বাচন করা হয়। উচ্চ-বিশুদ্ধতার সিরামিক অ্যালুমিনা তাদের চমৎকার বৈদ্যুতিক নিরোধক বৈশিষ্ট্য, তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং প্লাজমা ক্ষয় প্রতিরোধের কারণে ব্যবহৃত হয়। এই বৈশিষ্ট্যগুলি চককে উচ্চ-তাপমাত্রা এবং উচ্চ-শূন্য উভয় অবস্থাতেই কার্যকরভাবে কাজ করার অনুমতি দেয়, একটি ক্লিনরুম পরিবেশে দীর্ঘমেয়াদী ব্যবহারের জন্য প্রয়োজনীয় স্থায়িত্ব এবং নির্ভরযোগ্যতা প্রদান করে।

কাস্টমাইজেশন হল ESC চাকের আরেকটি উল্লেখযোগ্য সুবিধা। একটি সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন প্রক্রিয়ার নির্দিষ্ট প্রয়োজনীয়তার উপর নির্ভর করে, চাকের মাত্রা, ইলেক্ট্রোড কনফিগারেশন এবং উপাদানের রচনাগুলি প্রক্রিয়াজাত করা সরঞ্জাম এবং ওয়েফারগুলির অনন্য চাহিদা পূরণের জন্য তৈরি করা যেতে পারে। অ্যাপ্লিকেশনটিতে প্লাজমা এচিং, রাসায়নিক বাষ্প জমা (সিভিডি), বা শারীরিক বাষ্প জমা (পিভিডি) জড়িত থাকুক না কেন, প্রক্রিয়াকরণের সময় কর্মক্ষমতা অপ্টিমাইজ করতে এবং ওয়েফারের অখণ্ডতা বজায় রাখার জন্য ইএসসি চককে ইঞ্জিনিয়ার করা যেতে পারে।