ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক

উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা সিরামিক ব্যবহার করে, সেমিকোরেক্স ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাক সেটিংসে শীর্ষস্থানীয় কর্মক্ষমতা প্রদান করে যা নির্ভুলতা, স্থিতিশীলতা এবং পরিচ্ছন্নতাকে অগ্রাধিকার দেয়। অ্যালুমিনা, অ্যালুমিনিয়াম অক্সাইড (Al2O3) নামেও পরিচিত, একটি সিরামিক উপাদান যা তার ব্যতিক্রমী বৈদ্যুতিক নিরোধক বৈশিষ্ট্য, উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং অসামান্য যান্ত্রিক শক্তির জন্য বিখ্যাত। এই বৈশিষ্ট্যগুলি এটিকে ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক নির্মাণের জন্য একটি আদর্শ উপাদান করে তোলে, যা সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণের চাহিদাপূর্ণ অবস্থার প্রতিরোধ করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। অ্যালুমিনা সিরামিক ESC উচ্চ তাপমাত্রা, ক্ষয়কারী পরিবেশ এবং ওয়েফার পরিচালনা এবং প্রক্রিয়াকরণের সময় যান্ত্রিক চাপ সহ্য করার জন্য ইঞ্জিনিয়ার করা হয়েছে, সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসের ফলন এবং গুণমান নিশ্চিত করতে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে।

ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাকের পিছনের মূল নীতি হল ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক বল, যা নিরাপদে ওয়েফারটিকে জায়গায় রাখতে ব্যবহৃত হয়। সিরামিক উপাদানের মধ্যে এমবেড করা ইলেক্ট্রোডগুলিতে একটি ভোল্টেজ প্রয়োগ করে এই বল তৈরি করা হয়। ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ক্ষেত্র এবং ওয়েফার পৃষ্ঠের প্ররোচিত চার্জের মধ্যে মিথস্ক্রিয়া একটি শক্তিশালী ক্ল্যাম্পিং বল তৈরি করে যা চাকের পৃষ্ঠের বিরুদ্ধে ওয়েফারটিকে ধরে রাখে। অ্যালুমিনা সিরামিক ESC এর ডিজাইন নিশ্চিত করে যে এই ক্ল্যাম্পিং ফোর্সটি ওয়েফার জুড়ে সমানভাবে বিতরণ করা হয়েছে, প্রক্রিয়াকরণের সময় স্লিপেজ বা ক্ষতির ঝুঁকি কমিয়ে দেয়।

ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক নির্মাণে অ্যালুমিনা সিরামিক ব্যবহারের মূল সুবিধাগুলির মধ্যে একটি হল এর ব্যতিক্রমী বৈদ্যুতিক অন্তরক বৈশিষ্ট্য। অ্যালুমিনার উচ্চ অস্তরক শক্তি বৈদ্যুতিক ভাঙ্গনের ঝুঁকি ছাড়াই উচ্চ ভোল্টেজ প্রয়োগের অনুমতি দেয়, ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ক্ষেত্রের অখণ্ডতা বজায় রাখার জন্য গুরুত্বপূর্ণ। প্লাজমা এচিং বা রাসায়নিক বাষ্প জমার মতো প্রক্রিয়াগুলিতে এটি বিশেষভাবে গুরুত্বপূর্ণ, যেখানে ওয়েফারটি অত্যন্ত প্রতিক্রিয়াশীল পরিবেশের সংস্পর্শে আসে এবং ক্ল্যাম্পিং ফোর্সের কোনো পরিবর্তনের ফলে ওয়েফারের ত্রুটি বা ক্ষতি হতে পারে।

এর বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্যগুলি ছাড়াও, অ্যালুমিনা সিরামিক চমৎকার তাপ পরিবাহিতা প্রদর্শন করে, যা অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াকরণের সময় উত্পন্ন তাপ পরিচালনার জন্য প্রয়োজনীয়। ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাকের দক্ষতার সাথে তাপ নষ্ট করার ক্ষমতা ওয়েফার জুড়ে একটি স্থিতিশীল তাপমাত্রা বজায় রাখতে সাহায্য করে, তাপীয় গ্রেডিয়েন্টগুলি হ্রাস করে যা ওয়ার্পিং বা অন্যান্য ধরণের তাপীয় চাপের দিকে নিয়ে যেতে পারে। এই তাপীয় স্থিতিশীলতা ফটোলিথোগ্রাফির মতো প্রক্রিয়াগুলির নির্ভুলতা এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা নিশ্চিত করার জন্য গুরুত্বপূর্ণ, যেখানে এমনকি সামান্য তাপমাত্রার বিচ্যুতিও ফলাফলকে প্রভাবিত করতে পারে।