সিরামিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক

সিরামিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চকসূক্ষ্ম উপাদান যা ইলেক্ট্রোড এবং ওয়েফারের মধ্যে উত্পন্ন ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ক্ষেত্র ব্যবহার করে ওয়েফারগুলিকে আটকাতে এবং ঠিক করতে। এগুলি সেমিকন্ডাক্টর, ফ্ল্যাট প্যানেল ডিসপ্লে এবং অপটিক্সের মতো ক্ষেত্রগুলিতে ব্যাপকভাবে প্রয়োগ করা হয় এবং PVD ডিভাইস, এচিং মেশিন এবং আয়ন ইমপ্লান্টারের মতো উচ্চ-সম্পদ সরঞ্জামগুলির মূল উপাদান।

ঐতিহ্যগত যান্ত্রিক চক এবং ভ্যাকুয়াম চাকের সাথে তুলনা করে, সিরামিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাকের সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন ক্ষেত্রে অনেক সুবিধা রয়েছে। এই সিরামিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক তার পৃষ্ঠে ওয়েফারগুলিকে সমতল এবং সমানভাবে ধরে রাখতে স্ট্যাটিক বিদ্যুৎ ব্যবহার করে। এই অভিন্ন শোষণ শক্তি শোষণ করা বস্তুটিকে তুলনামূলকভাবে সমতল রাখতে পারে, এড়িয়ে যায়ওয়েফারপ্রথাগত যান্ত্রিক চক দ্বারা সৃষ্ট হতে পারে যে warping বা বিকৃতি বাভ্যাকুয়াম চক, এবং নিশ্চিত করে যে ওয়েফার উচ্চ-নির্ভুল অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াগুলির জন্য উপযুক্ত প্রক্রিয়াকরণের সঠিকতা বজায় রাখে।

কিছু সিরামিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাকের ইন্টিগ্রেটেড হিটিং ফাংশন রয়েছে, যা সঠিকভাবে ব্যাক-ব্লোয় গ্যাস বা অভ্যন্তরীণ হিটিং ইলেক্ট্রোডের মাধ্যমে ওয়েফার তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করতে পারে, বিভিন্ন প্রক্রিয়ার কঠোর তাপমাত্রার প্রয়োজনীয়তার সাথে খাপ খাইয়ে নিতে পারে এবং প্রক্রিয়াকরণের স্থিতিশীলতা উন্নত করতে পারে।

যান্ত্রিক চাকের বিপরীতে, সিরামিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাকগুলি যান্ত্রিক চলমান অংশগুলিকে হ্রাস করে, ওয়েফারের মানের উপর কণা দূষকগুলির প্রভাব হ্রাস করে, কার্যকরভাবে ওয়েফার পৃষ্ঠের পরিচ্ছন্নতা রক্ষা করে এবং পণ্যের ফলন উন্নত করে।

সিরামিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক বিস্তৃত সামঞ্জস্য অফার. তারা সিলিকন, গ্যালিয়াম আর্সেনাইড এবং সিলিকন কার্বাইড সহ বিভিন্ন আকার এবং উপকরণের ওয়েফারগুলিকে মিটমাট করতে পারে, বিভিন্ন সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন চাহিদা মেটাতে পারে।

তারা উচ্চ ভ্যাকুয়াম পরিবেশে যেমন আয়ন ইমপ্লান্টেশন এবং সিভিডিতে স্থিরভাবে কাজ করতে পারে, প্রচলিত ভ্যাকুয়াম চাকের সীমাবদ্ধতা অতিক্রম করে যা ভ্যাকুয়াম পরিবেশে ওয়েফার শোষণ করতে পারে না এবং আয়ন ইমপ্লান্টেশন, রাসায়নিক বাষ্প জমা (সিভিডি) এবং সেমিকন্ডাক্টর ম্যান প্রসেসের অন্যান্য প্রক্রিয়ার প্রয়োজনীয়তা পুরোপুরি মেটাতে পারে।