সেমিকন্ডাক্টরে কোয়ার্টজ কিসের জন্য ব্যবহৃত হয়?

সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন ক্ষেত্রে, সিলিকন স্ফটিক বৃদ্ধি থেকে অক্সিডেশন প্রসারণ, এচিং থেকে পরিষ্কার করার ধাপগুলি, কোয়ার্টজ কাঠামোগত উপাদানগুলি পুরো প্রক্রিয়ার সাথে জড়িত। উন্নত প্রক্রিয়াগুলির বিকাশের সাথে সাথে, ধাতব অমেধ্য এবং কণা দ্বারা দূষণের সহনশীলতা প্রতিটি ধাপে ক্রমবর্ধমানভাবে কম হচ্ছে।

দসংশ্লেষণ কোয়ার্টজউচ্চ বিশুদ্ধতা, অ বুদ্বুদ, কোন অন্তর্ভুক্তি কণা, উচ্চ UV ট্রান্সমিট্যান্স ইত্যাদির মতো পরিসংখ্যান রয়েছে। এটি ধীরে ধীরে উন্নত উত্পাদন প্রক্রিয়াগুলিতে ঐতিহ্যবাহী প্রাকৃতিক কোয়ার্টজ উপকরণগুলিকে প্রতিস্থাপন করে, যা ফলনকে উল্লেখযোগ্যভাবে উন্নত করতে এবং আয়ু বাড়াতে পারে।

01 এচিং রিং

প্লাজমার বোমাবর্ষণের অধীনে (অত্যন্ত প্রতিক্রিয়াশীল ফ্লোরিন এবং ক্লোরিন-ভিত্তিক গ্যাস রয়েছে), উপকরণগুলির অত্যন্ত উচ্চ রাসায়নিক জড়তা এবং জারা প্রতিরোধের প্রয়োজন। একই সাথে, কোয়ার্টজ উপকরণগুলিকে এচিং থেকে কণা দূষণ প্রতিরোধ করার জন্য অত্যন্ত উচ্চ বিশুদ্ধতা থাকতে হবে। এচিং রিংগুলি ব্যবহারযোগ্য উপাদান; বর্তমানে, বেশিরভাগ সরঞ্জাম প্রাকৃতিক কোয়ার্টজ ব্যবহার করে। যাইহোক, কিছু উন্নত প্রক্রিয়া (2nm, 5nm, এবং 28nm-এর নিচের অন্যান্য প্রক্রিয়া) কণা এবং ধাতব আয়নগুলির উপর কঠোর নিয়ন্ত্রণের কারণে তাদের কৃত্রিম কোয়ার্টজ এচিং রিং দিয়ে প্রতিস্থাপিত করেছে।

02 কোয়ার্টজ গম্বুজ

এচিং এবং থিন-ফিল্ম ডিপোজিশন (যেমন CVD) সরঞ্জামগুলিতে প্রতিক্রিয়া চেম্বারের শীর্ষে একটি স্বচ্ছ গম্বুজ-আকৃতির পর্যবেক্ষণ উইন্ডো ইনস্টল করা হয়েছে। প্রক্রিয়া চেম্বারকে দূষিত করা থেকে অমেধ্য প্রতিরোধ করার জন্য এটির শুধুমাত্র অত্যন্ত উচ্চ বিশুদ্ধতার প্রয়োজন নেই তবে প্রক্রিয়াটির রিয়েল-টাইম নিরীক্ষণের জন্য সনাক্তকরণ সিস্টেম থেকে আলোক সংকেতগুলিকে পাস করার অনুমতি দেওয়ার জন্য নির্দিষ্ট অপটিক্যাল বৈশিষ্ট্যগুলির প্রয়োজন। সিন্থেটিক কোয়ার্টজ, এর অত্যন্ত উচ্চ ট্রান্সমিট্যান্স এবং উচ্চ বিশুদ্ধতা সহ, ডম (ডিফিউশন অক্সিডেশন) এ ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।

03 ফার্নেস টিউব

উচ্চ-তাপমাত্রার অক্সিডেশন/ডিফিউশন ফার্নেসগুলিতে, এটি মূল নলাকার ধারক হিসাবে কাজ করে যা ওয়েফারকে ধরে রাখে এবং প্রক্রিয়া প্রতিক্রিয়া সম্পাদন করে। অত্যন্ত উচ্চ তাপ প্রতিরোধের প্রয়োজন, নরম বা বিকৃতি ছাড়াই 1200°C এর উপরে তাপমাত্রায় দীর্ঘমেয়াদী অপারেশন সক্ষম করে। প্রাকৃতিক কোয়ার্টজ, এর উচ্চ আল সামগ্রী এবং কম হাইড্রক্সিল সামগ্রীর কারণে, উচ্চ তাপ প্রতিরোধ ক্ষমতা অর্জন করে এবং চুল্লি টিউবে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। যাইহোক, যেহেতু উন্নত প্রক্রিয়াগুলি চেম্বারে ধাতব অশুদ্ধতা আয়নগুলির উপর ক্রমবর্ধমান কঠোর নিয়ন্ত্রণ আরোপ করে, অত্যন্ত তাপ-প্রতিরোধী সিন্থেটিক কোয়ার্টজ উপাদানগুলি ধীরে ধীরে প্রাকৃতিক কোয়ার্টজ ফার্নেস টিউবগুলিকে প্রতিস্থাপন করছে।

04 ট্যাংক পরিষ্কার

ওয়েফার ভেজা পরিষ্কারের জন্য উচ্চ-বিশুদ্ধতা, অত্যন্ত ক্ষয়কারী পরিস্কার সমাধান (যেমন SC1, SC2, হাইড্রোফ্লুরিক অ্যাসিড, সালফিউরিক অ্যাসিড ইত্যাদি) ধরে রাখতে ব্যবহৃত হয়। কোয়ার্টজ পদার্থের অ্যাসিড এবং ক্ষার ক্ষয়ের জন্য চমৎকার প্রতিরোধ ক্ষমতা রয়েছে: তারা প্রায় সমস্ত শক্তিশালী অ্যাসিডের ক্ষয় প্রতিরোধ করতে পারে (হাইড্রোফ্লোরিক অ্যাসিড এবং গরম ফসফরিক অ্যাসিড ব্যতীত), দীর্ঘমেয়াদী ব্যবহারের জন্য ট্যাঙ্কটি অবিকৃত থাকে তা নিশ্চিত করে। যাইহোক, দীর্ঘায়িত ব্যবহারের সাথে, কোয়ার্টজ ট্যাঙ্কের ধাতব আয়নগুলি ধীরে ধীরে নির্গত হয়, সহজেই দূষণ ঘটায়। PPB-গ্রেডের সিন্থেটিক কোয়ার্টজ কার্যকরভাবে ধাতব অশুদ্ধতা আয়ন দূষণ কমায়, এবং এর বুদ্বুদ-মুক্ত প্রকৃতি এটিকে মসৃণ, ঘন পৃষ্ঠতল প্রক্রিয়াকরণের জন্য আরও উপযুক্ত করে তোলে, দূষিত আনুগত্য হ্রাস করে।

05. ইউভি কিউরিং উইন্ডো

UV নিরাময় সরঞ্জামে ইনস্টল করা, এটি UV আলো প্রেরণের জন্য একটি উইন্ডো হিসাবে কাজ করে। সমস্ত অপটিক্যাল উপাদানের মধ্যে, সিন্থেটিক কোয়ার্টজের গভীর অতিবেগুনী (DUV) থেকে অতিবেগুনী (UV) ব্যান্ডে (185nm পর্যন্ত) সর্বাধিক ট্রান্সমিট্যান্স রয়েছে। এর উচ্চ শক্তি এবং বিকিরণ প্রতিরোধ ক্ষমতা দীর্ঘায়িত UV বিকিরণে এর কর্মক্ষমতা ক্ষয় বা বিবর্ণ না হয় তাও নিশ্চিত করে।

06. উন্নত প্যাকেজিং ক্যারিয়ার

উন্নত প্যাকেজিং প্রক্রিয়াগুলিতে (যেমন ফ্যান-আউট, 2.5D/3D IC), সিন্থেটিক কোয়ার্টজ ক্যারিয়ার ওয়েফারগুলি অতি-পাতলা ওয়েফার বা ওয়েফারগুলিকে অস্থায়ীভাবে সমর্থন, ফিক্সিং, পরিবহন এবং প্রক্রিয়াকরণের জন্য ক্যারিয়ার প্লেট হিসাবে ব্যবহার করা যেতে পারে। সিন্থেটিক কোয়ার্টজ উপাদান চমৎকার সমতলতা এবং অনমনীয়তা অর্জনের জন্য প্রক্রিয়া করা যেতে পারে, অতি-পাতলা চিপগুলির জন্য শক্ত সমর্থন প্রদান করে এবং প্রক্রিয়ার নির্ভুলতা নিশ্চিত করে।

সেমিকোরেক্স উচ্চ মানের সরবরাহ করেকাস্টমাইজড কোয়ার্টজ উপাদানবিভিন্ন প্রক্রিয়াকরণের জন্য। কাস্টমাইজড সমাধান বা অতিরিক্ত প্রযুক্তিগত তথ্যের জন্য, অনুগ্রহ করে নির্দ্বিধায় আমাদের ইঞ্জিনিয়ারিং টিমের সাথে যোগাযোগ করুন।

ফোন: +86-13567891907

ইমেইল: sales@semicorex.com