FUR প্রক্রিয়ায় ডামি ওয়েফার স্থাপনের কারণ

সেমিকন্ডাক্টর থার্মাল ট্রিটমেন্ট হল কাটিং-এজ সেমিকন্ডাক্টর চিপ তৈরিতে অপরিহার্য প্রক্রিয়া, ওয়েফার অক্সিডেশন, ডিফিউশন, থিন-ফিল্ম ডিপোজিশন এবং অ্যানিলিংয়ের মতো জটিল প্রক্রিয়াগুলিকে কভার করে। এই প্রক্রিয়াগুলি ফার্নেস টিউবের ভিতরে তাপমাত্রা, গ্যাস প্রবাহ এবং পরিচ্ছন্নতার অভিন্নতার উপর অত্যন্ত কঠোর প্রয়োজনীয়তা আরোপ করে। উৎপাদনের সময়, ডামি ওয়েফারগুলি ব্যাপকভাবে শিল্প জুড়ে গৃহীত হয় প্রক্রিয়া পরিবেশের ঘাটতিগুলি প্রতিকারের জন্য, প্রক্রিয়ার পরামিতিগুলিকে সুনির্দিষ্টভাবে নিয়ন্ত্রণ করতে এবং সুসংগত প্রক্রিয়াকরণ এবং ব্যাপকভাবে উত্পাদিত ওয়েফারগুলির উচ্চ ফলনের গ্যারান্টি দেয়৷

ডামি ওয়েফারসমূল অক্জিলিয়ারী ভোগ্য দ্রব্য হিসাবে পরিবেশন করে যা অর্ধপরিবাহী উত্পাদন প্রক্রিয়াগুলিকে স্থিতিশীল করে, সরঞ্জাম ডিবাগিং, প্রক্রিয়া ক্রমাঙ্কন, প্রক্রিয়া পর্যবেক্ষণ এবং ক্ষমতা অপ্টিমাইজেশানের জন্য ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।

ফার্নেস টিউব প্রসেসের জন্য দুই ধরনের ডামি ওয়েফার

FUR তাপ চিকিত্সা জন্যচুল্লি টিউব, বিভিন্ন প্রক্রিয়ার ক্ষতিপূরণের প্রয়োজনীয়তা পূরণের জন্য দুই ধরনের ডামি ওয়েফার শিল্পের মূলধারা:

1. সাইড ডামি ওয়েফার

সাইড ডামি ওয়েফারগুলি সাধারণত ওয়েফার বোটের সামনে এবং পিছনের প্রান্তে একটি প্রক্রিয়া বাফার জোন গঠনের জন্য স্থাপন করা হয়।

2. অতিরিক্ত ডামি ওয়েফার

অতিরিক্ত ডামি ওয়েফারগুলি সাধারণত ওয়েফার বোটে খালি স্লটগুলি পূরণ করতে ব্যবহৃত হয় যাতে ফুল-লোড উত্পাদনের অবস্থার অনুকরণ করা হয়।

ফার্নেস টিউব প্রসেসে ডামি ওয়েফারের মূল কাজ

1. তাপমাত্রা অভিন্নতা নিয়ন্ত্রণ

উ: তাপ ক্ষমতার ক্ষতিপূরণ

তাপ প্রক্রিয়াকরণের জন্য ফার্নেস টিউবগুলিতে একটি বড় প্রতিক্রিয়া চেম্বার রয়েছে। যদি তাপ প্রক্রিয়াকরণের জন্য উত্পাদন ওয়েফারগুলি সমস্ত স্লট পূরণ করতে ব্যর্থ হয়, তাহলে অসম তাপ বিতরণের ফলে খালি অবস্থানগুলি দেখা দেবে। এই খালি স্লটে ডামি ওয়েফার রাখা সামগ্রিক তাপ ক্ষমতার ভারসাম্য বজায় রাখতে পারে এবং প্রক্রিয়া তাপমাত্রা স্থিতিশীল করতে পারে।

B. প্রান্ত প্রভাব প্রশমন

ফার্নেস টিউবের উভয় প্রান্তে তাপমাত্রা ওঠানামা করতে থাকে। ডামি ওয়েফারগুলি কিনারাগুলিতে তাপীয় ব্যাঘাত ঘটাতে ব্যবহার করা যেতে পারে, নৌকার প্রান্তে অবস্থিত উৎপাদন ওয়েফারগুলির জন্য অভিন্ন গরম নিশ্চিত করতে।

2. প্রক্রিয়া গ্যাস প্রবাহ ক্ষেত্রের অভিন্নতা

খালি স্লটগুলি গ্যাস সঞ্চালন ব্যাহত করবে এবং ফার্নেস টিউবের ভিতরে অসম স্থানীয় গ্যাসের ঘনত্বকে ট্রিগার করবে। ডামি ওয়েফারগুলি সুসংগত গ্যাস প্রবাহকে স্থিতিশীল করে, অক্সিডেশন, ডিফিউশন, পাতলা-ফিল্ম জমা এবং অন্যান্য প্রক্রিয়াগুলির জন্য সমস্ত উত্পাদন ওয়েফারের পৃষ্ঠে অভিন্ন রাসায়নিক বিক্রিয়া পরিস্থিতি নিশ্চিত করে।

3. প্রক্রিয়া চেম্বার দূষণ নিয়ন্ত্রণ

দূষিত পদার্থ (যেমন কণা এবং ধাতব আয়ন) নতুন বা রক্ষণাবেক্ষণ করা চুল্লির টিউবের ভেতরের দেয়ালে থাকতে পারে। ডামি ওয়েফারগুলি এই দূষিত পদার্থগুলিকে শোষণ করতে এবং পণ্য ওয়েফারের ফলনকে প্রভাবিত করতে বাধা দেওয়ার জন্য একটি "বলি মাধ্যম" হিসাবে ব্যবহার করা যেতে পারে।

4. প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ এবং উত্পাদন খরচ হ্রাস

ডামি ওয়েফারগুলি সমস্ত কার্যকরী ওয়েফারগুলির জন্য অত্যন্ত অভিন্ন প্রক্রিয়া শর্ত সরবরাহ করতে পূর্ণ-লোড উত্পাদন পরিবেশের প্রতিলিপি তৈরি করে। নতুন প্রক্রিয়ার বিকাশের সময়, মূল্যবান উত্পাদন ওয়েফার না খেয়েই ডামি ওয়েফারগুলিতে সমস্ত পরীক্ষামূলক ট্রায়াল করা যেতে পারে। ডামি ওয়েফার বাদ দেওয়ার ফলে ফলনের ক্ষতি এবং অস্থির প্রক্রিয়া খরচ ডামি ওয়েফারের সংগ্রহের খরচকে ছাড়িয়ে যায়।

উপসংহার

ফার্নেস টিউব থার্মাল প্রক্রিয়াগুলির জন্য একটি কম খরচে, উচ্চ-রিটার্ন এবং অপরিহার্য সহায়ক সমাধান হিসাবে, ডামি ওয়েফারগুলি চারটি মূল সুবিধা প্রদান করে: তাপ ক্ষমতার ক্ষতিপূরণ, প্রমিত গ্যাস প্রবাহ, দূষিত শোষণ এবং সম্পূর্ণ-লোড প্রক্রিয়া সিমুলেশন। তারা কার্যকরভাবে ফার্নেস টিউবগুলির মধ্যে তাপমাত্রা এবং গ্যাস প্রবাহের অভিন্নতাকে অপ্টিমাইজ করে, প্রক্রিয়া পরামিতিগুলিকে স্থিতিশীল করে, বিভিন্ন উত্পাদন ত্রুটিগুলি দূর করে এবং ওয়েফার উত্পাদনের স্থায়িত্ব, সামঞ্জস্য এবং ফলনকে ব্যাপকভাবে উন্নত করে। ডামি ওয়েফারগুলি সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে প্রমিত এবং পরিমার্জিত ভর উত্পাদন নিয়ন্ত্রণের জন্য একটি গুরুত্বপূর্ণ হাতিয়ার।