নির্ভুল সিরামিক, বিশেষ করে উন্নত স্ট্রাকচারাল সিরামিক, উচ্চ-সম্পদ সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনে অপরিহার্য উপকরণ, যা চিপ তৈরি, পরীক্ষা এবং প্যাকেজিং থেকে সমগ্র শিল্প শৃঙ্খলকে পরিব্যাপ্ত করে। অ্যালুমিনা, সিলিকন নাইট্রাইড, অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড এবং সিলিকন কার্বাইডের মতো নির্ভুল সিরামিক, যা উচ্চ বিশুদ্ধতা, উচ্চ তাপ প্রতিরোধ, উচ্চ পরিধান প্রতিরোধ, শক্তিশালী জারা প্রতিরোধ এবং উচ্চতর বৈদ্যুতিক নিরোধকের জন্য সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াগুলির কঠোর প্রয়োজনীয়তাগুলি সম্পূর্ণরূপে পূরণ করে। সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলিতে, নির্ভুল সিরামিকগুলি মোট মূল্যের প্রায় 16% জন্য দায়ী, এবং এগুলি ওয়েফার পলিশিং মেশিন, তাপ চিকিত্সা সরঞ্জাম, লিথোগ্রাফি মেশিন, ডিপোজিশন সরঞ্জাম, এচিং সরঞ্জাম এবং আয়ন ইমপ্লান্টেশন মেশিন সহ সরঞ্জামগুলির উপাদান তৈরিতে ব্যাপকভাবে প্রয়োগ করা হয়।

আবেদন প্রক্রিয়া	সিরামিক উপাদান
সিএমপি	মসৃণতা টেবিল, মসৃণতা প্লেট, হ্যান্ডলিং আর্ম
ফটোলিথোগ্রাফি	ভ্যাকুয়াম চক, ওয়েফার চক, ওয়ার্কটেবল, হ্যান্ডলিং আর্ম
উচ্চ তাপমাত্রা প্রক্রিয়াকরণ (RTP/Epitaxy/Oxidation/diffusion)	ইনসুলেটর, বেস সাসেপ্টর, ওয়েফার বোট, ফার্নেস টিউব, ক্যান্টিলিভার প্যাডেল
জবানবন্দি	চেম্বারের ঢাকনা, চেম্বার লাইনার, ডিপোজিশন রিং, ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক, হিটার, ইলেক্ট্রোপ্লেটিং ইনসুলেটর, ভ্যাকুয়াম ব্রেক ফিল্টার
ইচ	গম্বুজ শীর্ষ, চেম্বার বডি, ফোকাস রিং, অগ্রভাগ, ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক, হ্যান্ডলিং আর্ম
আয়ন ইমপ্লান্টেশন	বিয়ারিং, ভ্যাকুয়াম চক, ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক

---

I. চিপ ফ্যাব্রিকেশন: মূল উপাদান

1. ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণ

উ: ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক

ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চকগুলি সাধারণত উচ্চ-বিশুদ্ধতা দিয়ে তৈরি হয়অ্যালুমিনাএবংঅ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইডসিরামিক তাদের প্রধান কাজ হল এচিং, রাসায়নিক বাষ্প জমা এবং শারীরিক বাষ্প জমার মতো প্রক্রিয়া চলাকালীন সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারগুলিকে শোষণ করা এবং ঠিক করা। এই প্রক্রিয়াগুলিতে, ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চকগুলির চমৎকার সামগ্রিক সমতলতা, বৈদ্যুতিক নিরোধক, প্লাজমা ক্ষয় প্রতিরোধ এবং একটি অভ্যন্তরীণ গরম এবং শীতলকরণ সিস্টেমের মাধ্যমে সঠিক তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ থাকা প্রয়োজন।

খ. এচিং প্রক্রিয়ার উপাদান

এচিং রিঅ্যাকশন চেম্বারে ব্যবহৃত সিরামিক লাইনার, ফোকাস রিং এবং গ্যাস ডিস্ট্রিবিউশন ডিস্কের মতো উপাদানগুলি সাধারণত সরাসরি উচ্চ-তাপমাত্রা এবং গুরুতর ক্ষয় এচিং অবস্থার সংস্পর্শে আসে। শিল্পটি সাধারণত এই উপাদানগুলি তৈরি করতে ইট্রিয়াম অক্সাইড, অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড এবং অ্যালুমিনিয়াম অক্সাইড ব্যবহার করে, যাতে ওয়েফারকে দূষিত করা থেকে তাদের প্রতিরোধ করার জন্য তাদের অত্যন্ত শক্তিশালী জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা রয়েছে। Yttrium অক্সাইড হ্যালোজেন প্লাজমাতে (যেমন Cl₂ এবং CF₄) চমৎকার ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা প্রদর্শন করে, এটিকে উচ্চ-সম্পন্ন এচিং মেশিনের জন্য পছন্দের পছন্দ করে তোলে। উচ্চ-বিশুদ্ধতা অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড সিরামিকগুলি সিলিকনের কাছাকাছি তাপীয় প্রসারণের সহগ সহ চমৎকার তাপ পরিবাহিতা, তাপ প্রতিরোধের এবং নিরোধক ধারণ করে এবং চমৎকার প্লাজমা প্রতিরোধের প্রদর্শন করে, যার ফলে অভিন্ন তাপ বিতরণ হয়, এটিকে খোদাই করার উপাদানগুলির জন্য একটি আদর্শ পছন্দ করে তোলে।

C. রাসায়নিক যান্ত্রিক পলিশিং

রাসায়নিক যান্ত্রিক পলিশিং সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহৃত সিরামিক পলিশিং হেডগুলি সাধারণত অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড থেকে তৈরি করা হয়, কারণ অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইডের উচ্চতর কঠোরতা, পরিধান প্রতিরোধের এবং রাসায়নিক স্থিতিশীলতা রয়েছে। এই উপাদান বৈশিষ্ট্যগুলি সিরামিক পলিশিং হেডগুলিকে দীর্ঘমেয়াদী রাসায়নিক যান্ত্রিক পলিশিং পরিবেশে স্থিরভাবে কাজ করতে সক্ষম করে যাতে ওয়েফার পৃষ্ঠে সামঞ্জস্যপূর্ণ সমতল চাপ বজায় থাকে।

D. আয়ন ইমপ্লান্টেশন

আয়ন ইমপ্লান্টেশন প্রক্রিয়ার বিমলাইনে ইনসুলেটর, ফিক্সচার এবং ব্যাফেলস হিসাবে ব্যবহৃত উপাদানগুলির চার্জ জমা হওয়া রোধ করতে এবং উচ্চ-শক্তি আয়ন বিমের বোমাবর্ষণ প্রতিরোধ করার জন্য উচ্চ নিরোধক প্রয়োজন। অ্যালুমিনা এবংসিলিকন নাইট্রাইডনির্ভরযোগ্য উপাদান বৈশিষ্ট্যের অধিকারী, তাদের এই উপাদানগুলিতে উপাদান তৈরির জন্য আদর্শ করে তোলে।

2. পাতলা ফিল্ম জমা

যথার্থ সিরামিক, যেমন অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড এবং অ্যালুমিনা, রাসায়নিক বাষ্প জমার সরঞ্জামগুলিতে গরম করার প্লেট, সাসেপ্টর এবং চেম্বার লাইনার হিসাবে উত্পাদিত হতে পারে। তাদের উচ্চতর উপাদান বৈশিষ্ট্যগুলি তাদের স্থিতিশীল কর্মক্ষমতা বজায় রাখতে এবং উচ্চ কাজের তাপমাত্রা (কয়েক শত ডিগ্রি সেলসিয়াস পর্যন্ত) এবং ক্ষয়কারী প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস জড়িত চ্যালেঞ্জিং অপারেটিং পরিবেশের অধীনে অবাঞ্ছিত অমেধ্য মুক্তি রোধ করতে দেয়।

3. তাপ চিকিত্সা (ডিফিউশন, জারণ)

উচ্চ-বিশুদ্ধতাকোয়ার্টজ গ্লাস(যদিও একটি সাধারণ সিরামিক নয়, এটি সিলিকেট সিরামিকের বিভাগে পড়ে) এবংসিলিকন কার্বাইডসিরামিকগুলি সাধারণত ডিফিউশন ফার্নেস টিউব এবং ওয়েফার বোট তৈরিতে ব্যবহৃত হয়। সিলিকন কার্বাইড উচ্চ তাপ পরিবাহিতা, উচ্চ-তাপমাত্রার যান্ত্রিক শক্তি, উচ্চ অনমনীয়তা, তাপ সম্প্রসারণের কম সহগ, ভাল তাপীয় অভিন্নতা, জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং পরিধান প্রতিরোধের অধিকারী। ফার্নেস টিউব এবং ওয়েফার বোট উত্পাদনে এর ব্যবহার ছাড়াও, এটি XY প্ল্যাটফর্ম, ঘাঁটিগুলির উত্পাদন এবং প্রক্রিয়াকরণেও প্রয়োগ করা যেতে পারে।ফোকাসিং রিংs, পলিশিং প্লেট,ওয়েফার chucks, ভ্যাকুয়াম চক,অস্ত্র পরিবহন, এবংক্যান্টিলিভার প্যাডেল.

---

২. চিপ টেস্টিং এবং প্যাকেজিং

1. টেস্ট প্রোব কার্ড

অ্যালুমিনা এবং অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইডের মতো নির্ভুল সিরামিকগুলি সাধারণত প্রোব কার্ডের সাবস্ট্রেট হিসাবে ব্যবহৃত হয়। এই সিরামিক সাবস্ট্রেটগুলি চমৎকার নিরোধক, সমতলতা এবং মাত্রিক স্থায়িত্ব প্রদান করে তা নিশ্চিত করার জন্য যে হাজার হাজার মাইক্রোপ্রোবগুলি বৈদ্যুতিক কর্মক্ষমতা পরীক্ষার জন্য চিপের ছোট প্যাডের সাথে সঠিকভাবে সারিবদ্ধ হতে পারে।

2. প্যাকিং স্তর এবং হাউজিং

অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড এবং বেরিলিয়াম অক্সাইড সাধারণত প্যাকেজিং সাবস্ট্রেট এবং হাউজিং তৈরির জন্য ব্যবহৃত উপকরণ। তারা CERDIP এবং CQFP-এর মতো সিরামিক প্যাকেজগুলির সময় কার্যকরভাবে চিপকে রক্ষা করতে এবং তাপকে অপসারণ করতে ব্যতিক্রমী হারমেটিসিটি, উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং একটি তাপ সম্প্রসারণ গুণাঙ্ক ম্যাচিং সিলিকন অফার করে। পাওয়ার মডিউলগুলিতে, অন্তরক স্তর হিসাবে অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড সাবস্ট্রেট দক্ষতার সাথে চিপ দ্বারা উৎপন্ন তাপকে ধাতব তাপ সিঙ্কে পরিচালনা করতে পারে এবং সার্কিটের মধ্যে বৈদ্যুতিক বিচ্ছিন্নতা নিশ্চিত করে।

---

নির্ভুল সিরামিকগুলি সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের "অসংগত নায়ক"। যদিও তারা সরাসরি চিপের সার্কিটরি গঠন করে না, তবে তারা হল ভিত্তিপ্রস্তর এবং অভিভাবক যার উপর অত্যাধুনিক চিপ তৈরি করা নির্ভর করে। নির্ভুল সিরামিক, তাদের নির্ভরযোগ্য এবং সামঞ্জস্যপূর্ণ উপাদান বৈশিষ্ট্য সহ, সেমিকন্ডাক্টর শিল্পকে ছোট, দ্রুত এবং আরও শক্তিশালী ডিভাইস তৈরি করতে সহায়তা করে।